PECVD缩写的意思 - 等离子增强的化学蒸发沉积

【英文缩写】 PECVD

【词性类别】 电子电工 化学化工

【英文全称】plasma enhanced chemical vapor deposition

【中文解释】 等离子增强的化学蒸发沉积

【缩写简介】一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。